Yüksek sıcaklıktaki buharla yüzeydeki kir ve mikropların çözülmesidir. Kimyasal kullanımı azaltır; ev ve ofis yüzeylerinde hijyen için tercih edilir.
Buharlı temizlikte su, cihazda yüksek sıcaklığa getirilerek basınçlı buhara dönüştürülür; sıcak buhar yağ ve kiri çözer, aynı anda bakteri ve akarların çoğunu etkisiz kılar. Az su ve az ya da hiç kimyasalla çalıştığı için mutfak, banyo, fayans derzleri ve sert yüzeylerde çevre dostu bir seçenektir. Halı ve koltukta gerçek 'sıcak su ekstraksiyonu' ile karıştırılmamalıdır; ikisi farklı yöntemlerdir. Isıya duyarlı yüzeylerde (bazı plastik ve cilalı ahşap) dikkatli kullanılmalıdır. Ofis ve ev genel temizliğinde hijyeni kimyasala boğmadan artırır.